장비예약현황

  • 국부형상_측정기.png
측정/평가장비 국부 형상 측정기
    • 모델명 NPFLEX
    • 제작사 Bruker
    • 이용금액 100,000원 / 1시간 / VAT포함
    • 이용가능시간 00:00 ~ 00:00
    • 주요사양

      - 간섭계 대물렌즈 10x, 20x, 50x
      - 접안렌즈 0.55x, 1x, 2x - X, Y Stage range : 300 x 300 mm

      - Lateral resolution : 0.069 ㎛ - Max. Sample Height : 259 mm
      - Vertical Scan Range : 10.04 mm - Vertical resolution : ≤ 0.1 nm
      - Sample stage tilt : ± 4.38˚ - Step height accuracy : 0.037%
      - RMS Repeatability : 0.0041 nm
      - Camera Pixel : 1.2 MP - Max. Sample loading capacity : 50 kg
      - Measurement range reflectivity : 0.1~100%
      - Light Source : LED(Green, White)
      - Turret : Motorized 5 position


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